臭氧是氧的同素异形体，在常温下，它是一种有特殊臭味的蓝色气体。臭氧主要存在于距地球表面20~35公里的同温层下部的臭氧层中。在常温常压下，稳定性极差，在常温下可自行分解为氧气。臭氧具有强烈的刺激性，吸入过量对人体健康有一定危害。不可燃。化学性质是单质。纯净物。
臭氧检测仪就是采用紫外线吸收法的原理，用稳定的紫外灯光源产生紫外线，用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光，只允许波长253.7nm通过。经过样品光电传感器，再经过臭氧吸收池后，到达采样光电传感器。通过样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较，再经过数学模型的计算，就能得出臭氧浓度大小。
臭氧检测仪原理大致可分为化学分析法和仪器法两大类。
仪器法检测臭氧原理有半导体原理（英国E2V）、电化学检测原理、紫外光法原理等。这里主要来介绍的是第三种方法，即紫外光法。
仪器法检测臭氧的优点在于灵敏度高，重复性好，对操作者水平要求也不高，是一种较好的方法，但是因为此类仪器原来一般价格昂贵，不易普及使用。山美水美公司经过多年努力，在提高质量的过程中，通过规模采购，不断降低臭氧检测仪价格。使越来越多的客户使用上臭氧检测仪器。现在终于得到大规模普及使用。'
仪器检测臭氧浓度的原理是采用化学发光法、紫外线吸收法和电化学法。因化学发光法须配用乙烯气瓶，乙烯又是可燃物，既危险又不方便，所以近年来国际上常用的是紫外线吸收法和电化学法。
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